激光扫描显微镜

激光扫描显微镜采用两种光源，分别为用于收集颜色信息的白光，以及用于收集高度信息的激光光源。在样本表面沿X、Y和Z轴方向进行激光扫描，测量反射光强度，即可获得高度数据。生成的高分辨率、大景深彩色图像具有纳米级高度分辨率，可实现精确的轮廓度和粗糙度测量。该设备集成了光学显微镜、扫描电子显微镜和表面粗糙度仪的功能。