截止值是指从横截面曲线中被除去的规定波长。从横截面曲线中除去较长的波长成分形成粗糙度曲线，相反，除去较短的波长成分则形成波度曲线。接触式表面粗糙度测量仪在采用由电容器和电阻器构成的电气回路进行处理、还属于模拟仪器时，以2CR 滤波器为主流，但是随着不断走向数字化，人们开始更多地使用相位补偿型数字滤波器（高斯滤波器）。在多文件分析软件中使用的截止值也属于高斯滤波器。