测量基础解说选择测量仪所需的术语
| 安装状态／安装模式 |
为了使用激光移位计测量目标物，需要接收器获取目标物的反射光。为了使三角测量方式的测量仪可适当接收反射光，需根据目标物的表面状态，倾斜安装传感头。
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| 参考距离 |
通过激光移位计测量目标物时，测量值为０的点。 一般表示从传感头的下面到测量范围中心的距离。
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| 测量范围 |
表示激光移位计可测量目标物位移量的范围。 一般以参考距离为基准，表示±○○ mm。 【标记示例】 参考距离：30 mm 测量范围：±5 mm 上述激光移位计可在以下范围内测量目标物。
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| 光源 |
使用原理为：在非接触测量仪中使用光线从发射器对目标物照光，并用接收器接受其反射光。该光源可使用红色半导体激光、蓝色半导体激光、白光、SLD、绿色LED等多种光。 依照测量仪原理决定使用哪种光源，并使用光源相应的镜头和光接收元件等，可实现高精度的测量。 |
| 光点直径 |
非接触测量仪一般包括2种光点直径。分为椭圆形状的光点直径和小光点型的光点直径。 椭圆形状的光点直径可测量椭圆内的平均高度，因此不易受到目标物表面粗糙度误差的影响。但光点尺寸变大，因此不适于测量形状和较小部位。 而小光点型的光点直径光点较小，可有效测量形状或细微部位，但同时还会跟踪表面粗糙度，与椭圆形状的光点直径相比，易于受到表面粗糙度误差的影响。
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| 重复精度 | 表示重复测量目标物定点时的偏差。 |
| 直线性 |
直线性是表示测量仪性能的指标。表示理想值与实际测量结果误差的最大值。例如，使用直线性为±5 μm的测量仪移动1 ㎜的目标物时，表示所显示的值可能包含±5 μm的误差（9.995 μm至1.005 μm）。
直线性表
[直线性] = 0.02％ × 6 mm = ±1.2 μm |
| 温度特性 |
温度特性表示传感头的温度变化1度时所发生的测量值误差的最大值。在传感头的内部中，使用了镜头或CMOS及固定这些构件的夹具。因温度变化，上述构件会发生膨胀或收缩，且成像在CMOS上的光点位置变化会产生误差。 温度特性规定为○○％ of F.S./℃，F.S.表示测量范围，可按以下示例进行计算。温度特性越小的测量仪越可称之为越好的测量仪。 例）温度特性：0.01% of F.S./℃ 、测量范围：±3 mm（F.S.= 6 mm）的测量仪时 [直线性] = 0.01％ × 6 mm = 0.6 μm |
| 环境光照 | 表示测量仪可不受外部光线影响进行测量的外部光源的最大照度。 |
| 环境温度 | 保证测量仪动作的温度环境。 |
| 相对湿度 | 保证测量仪动作的湿度环境。 |
| 抗震动 |
表示对测量仪振动影响的指标。表示通过记载的数值进行评估。 一般记载为“10至55 Hz 双向振幅1.5 mm X、Y、Z方向各2个小时”，具体按以下内容进行测试。 对X方向上±0.75 mm 的振幅以10至55 Hz的频率进行2小时变化 ⇓ 对Y方向上±0.75 mm的振幅以10至55 Hz的频率进行2小时变化 ⇓ 对Z方向上±0.75 mm的振幅以10至55 Hz的频率进行2小时变化 |
| 采样周期／采样速度 | 表示测量仪在1秒内可测量的数据点数。采样周期为100 Hz的测量仪在每秒可进行100次测量。采样周期越快的测量仪越可准确测量在线移动的目标物，或可进行较多单一时间内的平均化处理，因此能稳定测量值。 |
| 接收光波形 |
表示光接收元件接收到的光的状态为接收光波形。纵轴表示光的强度，横轴表示光接收元件上的位置。通过确认接收光波形的形状，可判断是否准确进行当前测量。
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| 光轴、光轴区域 |
将测量仪发射器照射的光的中心轴称为光轴。 光轴区域图表示从发射器到接收器的光的路径。若在该区域内放入夹具等，则光不会照射到目标物或接收器，因此无法进行测量。 光轴区域图 |
| 电源电压 | 驱动产品时所需的电源电压。如果为24 VDC±10％的规格，则表示直流电源，需要电压24 V变动量在±2.4 V以内的电源。 |
| 最大消耗电流 | 驱动产品时所消耗的电流量。使用的电源需要选择比该最大消耗电流容量还大的产品。 |
