型号

VHX-S90B

类型

XY载物台

马达

2 相步进马达

平台移动量

±20 mm

Z移动量

―

分辨率

1 µm (典型)

载重

1kg

XYθ工作台尺寸

上方171 mm x 168 mm (中央圆板ø100)

XY自动工作台移动量

10mm/sec(max)

θ旋转角

±90度

透过照明观察支持倍率

x 20倍以上

额定

电源电压

100 至 240 VAC、50/60 Hz

额定值

功率消耗

50 VA

环境抗耐性

环境温度

+5 至 +40 °C

相对湿度

35 至 80 % RH (无凝结)

重量

14 kg (VHX-S90B) 3 kg (只限 x yθ载物台)