分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
传感器头增设单元 SI-TA100
规格
型号 | SI-TA100 | |||
类型 | 扩展控制器*1 | |||
独立型 | SI-TA100 | |||
可连接的光谱单元数 | 1 台 | |||
显示 | 最小显示单位 | 无 | ||
显示范围 | ||||
显示频率 | ||||
端子台 | 激光远程联锁输入 | 无*2 | ||
计时 1 输入 | ||||
复位 1 输入 | ||||
自动归零 1 输入 | ||||
激光控制输入 | ||||
模拟输出电压 | ±10V ×1 输出, 输出阻抗100Ω*2 | |||
模拟电流输出 | 4 到20mA ×1 输出 , 最大负载阻抗 350Ω*2 | |||
报警输出 | 无*2 | |||
一般比较器输出 | ||||
扩展连接器 | 计时输入 | |||
复位输入 | ||||
自动调零输入 | ||||
程序切换输入 | ||||
报警输出 | ||||
判定、二进位输出 | 二进制输出 | |||
选通脉冲输出 | ||||
二进制选择器输出 | ||||
二进制选择输入 | ||||
RS-232C 接口 | 无 | |||
USB 接口 | ||||
Ethernet 接口 | ||||
主要功能 | 测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12OUT 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等 | |||
额定 | 电源电压 | 随主控制器提供 | ||
消耗电流 | ||||
环境抗耐性 | 环境温度 | 0 到+50°C*3 | ||
相对湿度 | 35 到85%RH 无冷凝 | |||
抗震性 | 10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时*4 | |||
重量 | 约300g | |||
*1 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。 |