分光干涉位移型多层膜厚测量仪

SI-T 系列

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分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列

从单层到多层，可以实现在线稳定测量

追求“易用性”，使导入变得更为简单。融合 KEYENCE 的激光位移计和分光干涉计，改变了当今膜厚测量仪的传统概念。

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多层膜厚测量仪

实现多层膜厚, 采用近红外光・没有危害, 实时在线检测,一秒1000次的采样频率,为当今膜厚测量仪的提供新的可能性。

产品特性

粘附层也可以稳定测量

借助 KEYENCE配备的光量累计功能，
类似粘附层等粗糙的表面，也可以实现稳定测量。

实现广范围测量

在拉伸制程等过程中，可以应用于上游至下游的各种场所。

针对测量场景量身定制的阵容

多层位移测量型 SI-T10

参考距离 : 9 mm | 测量范围 : 0.01 ～ 1.0 mm | 特点 : 简便测量多层膜 / 可测量位移 / ø8 mm &设定距离9 mm 的空间节省型

长距离厚度测量型 SI-T80

参考距离 : 80 mm | 测量范围 : 0.01 ～ 1.0 mm | 特点 : 设定80 mm 的长距离 / 抗工件抖动 / 有利于高温工件

应用

在制程内测量基材厚

涂布后的湿膜厚度测量