彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列
产品规格 彩色激光同轴位移计 CL-3000 系列
光学单元・传感器探头 - Quad 式
型号 |
CL-L007N*1 |
CL-L015N*1 |
CL-L030N*1 |
CL-L070N*1 |
CL-L150N*1 |
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图像 |
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类型 |
光学单元 |
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探头 |
CL-L007 *1 |
CL-L015 *1 |
CL-L030 *1 |
CL-L070 *1 |
CL-L150 *1 |
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基准距离 |
7 mm |
15 mm |
30 mm |
70 mm |
150 mm |
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标准设定范围 |
测量范围 |
± 1.5 mm |
± 1.3 mm |
± 3.7 mm |
± 10 mm |
± 35 mm |
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直线性 |
± 2.1 µm *2 |
± 0.49 µm *2 |
± 0.94 µm *2 |
± 2.2 µm *2 |
± 5.65 µm *2 |
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高精度测量范围 |
测量范围 |
± 0.5 mm |
± 1.0 mm |
± 3.0 mm |
± 15 mm |
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直线性 |
± 0.91 µm *2 |
± 0.41 µm *2 |
± 0.72 µm *2 |
± 2.0 µm *2 |
± 4.65 µm *2 |
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分辨率 |
0.25 µm *3 |
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光点直径 |
ø 750 µm |
ø 300 µm |
ø 500 µm |
ø 600 µm |
ø 1000 µm |
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激光级别 |
光学单元 |
Class 1 |
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采样周期 |
100/200/500/1000 µs(4 段可调) |
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环境抗耐性 |
保护结构 |
探头 |
IP67(IEC60529) |
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环境光照 |
物体面照度 30000 lux(白炽灯) |
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环境温度 |
0 至 50℃ |
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相对湿度 |
85% RH 以下(无凝结) |
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耐振动性 |
探头 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
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光学单元 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
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耐冲击性 |
15G 6 ms |
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温度特性 |
探头 |
0.005% of F.S. /℃ |
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光学单元 |
0.015% of F.S. /℃ |
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材质 |
探头 |
SUS |
前部:SUS 后部:铝合金 |
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光学单元 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
探头 |
约 140 g |
约 180 g |
约 200 g |
约 280 g |
约 380 g |
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光学单元 |
约 1600 g |
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*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。 |
光学单元・传感器探头 - 点式
型号 |
CL-P007N*1 |
CL-P015N*1 |
CL-P030N*1 |
CL-P070N*1 |
CL-P150N*1 |
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图像 |
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类型 |
光学单元 |
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探头 |
CL-P007 *1 |
CL-P015 *1 |
CL-P030 *1 |
CL-P070 *1 |
CL-P150 *1 |
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基准距离 |
7 mm |
15 mm |
30 mm |
70 mm |
150 mm |
|||
标准设定范围 |
测量范围 |
± 1.5 mm |
± 1.3 mm |
± 3.7 mm |
± 10 mm |
± 35 mm |
||
直线性 |
± 0.96 µm *2 |
± 0.49 µm *2 |
± 0.94 µm *2 |
± 2.2 µm *2 |
± 5.65 µm *2 |
|||
高精度测量范围 |
测量范围 |
± 0.5 mm |
± 1.0 mm |
± 3.0 mm |
± 15 mm |
|||
直线性 |
± 0.55 µm *2 |
± 0.41 µm *2 |
± 0.72 µm *2 |
± 2.0 µm *2 |
± 4.65 µm *2 |
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分辨率 |
0.25 µm |
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光点直径 |
ø 50 µm |
ø 25 µm |
ø 38 µm |
ø 50 µm |
ø 75 µm |
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激光级别 |
光学单元 |
Class 1 |
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采样周期 |
100/200/500/1000 µs(4 段可调) |
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环境抗耐性 |
保护结构 |
探头 |
IP67(IEC60529) |
|||||
环境光照 |
物体面照度 30000 lux(白炽灯) |
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环境温度 |
0 至 50℃ |
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相对湿度 |
85% RH 以下(无凝结) |
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耐振动性 |
探头 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
||||||
光学单元 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
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耐冲击性 |
15G 6 ms |
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温度特性 |
探头 |
0.005% of F.S. /℃ |
||||||
光学单元 |
0.015% of F.S. /℃ |
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材质 |
探头 |
SUS |
前部:SUS 后部:铝合金 |
|||||
光学单元 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
探头 |
约 140 g |
约 180 g |
约 200 g |
约 280 g |
约 380 g |
||
光学单元 |
约 1600 g |
|||||||
*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。 |
型号 |
CL-S015N*1 |
CL-V020N*1 |
CL-V050N*1 |
CL-PT010N*1 |
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图像 |
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类型 |
光学单元 |
||||||
探头 |
CL-S015 *1 |
CL-V020 *1 |
CL-V050 *1 |
CL-PT010 *1 |
|||
基准距离 |
15 mm |
20 mm |
50 mm |
10 mm |
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标准设定范围 |
测量范围 |
± 1.0 mm |
± 1.3 mm |
± 4 mm |
± 0.3 mm |
||
直线性 |
± 0.35 µm *2 |
± 0.45 µm *2 |
± 1.4 µm *2 |
± 0.22 µm *2 |
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高精度测量范围 |
测量范围 |
− 0.2 mm/− 1.0 mm |
± 0.5 mm |
± 1.6 mm |
± 0.15 mm |
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直线性 |
± 0.25 µm *2 |
± 0.38 µm *2 |
± 1.3 µm *2 |
± 0.2 µm *2 |
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分辨率 |
0.25 µm *3 |
0.25 µm *6 |
|||||
光点直径 |
ø 10 µm |
ø 20 µm |
ø 40 µm |
ø 3.5 µm |
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激光级别 |
光学单元 |
Class 1 |
|||||
采样周期 |
100/200/500/1000 µs(4 段可调) |
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环境抗耐性 |
保护结构 |
探头 |
IP50 |
IP40 真空用除气结构 *4 |
IP64(IEC60529) |
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环境光照 |
物体面照度 30000 lux(白炽灯) |
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使用环境温度 |
探头 |
-20 至+70°C |
-20 至+200°C |
0 至+50°C |
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光学单元 |
0 至+50°C |
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相对湿度 |
85% RH 以下(无凝结) |
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耐振动性 |
探头 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 0.45 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
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光学单元 |
10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时 |
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耐冲击性 |
15G 6 ms |
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真空 |
支持真空 |
支持超高真空 *5 |
无 |
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温度特性 |
探头 |
0.005% of F.S. /℃ |
0.013% of F.S. /℃ |
0.015% of F.S. /℃ |
0.1% of F.S. /℃ |
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光学单元 |
0.015% of F.S. /℃ |
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材质 |
探头 |
SUS303/304 |
SUS304 |
前部:SUS 后部:铝合金 |
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光学单元 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
探头 |
约 350 g |
约 100 g |
约 1100 g |
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光学单元 |
约 1600 g |
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*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。 |