白光干涉位移计（3D）是向测量区域以“面”发射光的位移计。几乎不受工件材质及颜色的影响而以面的光进行同轴测量，因此不发生因狭窄位置或凹槽边沿等凹凸形状遮挡反射光的情况。可使用高度信息进行高度差、宽度、角度、体积、粗糙度、平坦度等各种测量。

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